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激光平面度測(cè)量?jī)x各精密部件協(xié)同運(yùn)作讓其擁有了強(qiáng)大的功能
激光平面度測(cè)量?jī)x各精密部件協(xié)同運(yùn)作讓其擁有了強(qiáng)大的功能

在裝備制造、精密導(dǎo)軌安裝、大型平臺(tái)校準(zhǔn)及半導(dǎo)體設(shè)備調(diào)平領(lǐng)域,激光平面度測(cè)量?jī)x以非接觸、高精度、大范圍的優(yōu)勢(shì),實(shí)現(xiàn)對(duì)平面度誤差的微米級(jí)量化。其工作原理基于激光束作為理想基準(zhǔn)面,通過(guò)探測(cè)器陣列捕捉被測(cè)表面反射或透射光的位置變化,從而計(jì)算出整體平面偏差。激光平面度測(cè)量?jī)x這一強(qiáng)大功能的背...

2025 11-5
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